计算光刻技术是通过对掩膜、光源的正向或反演优化,降低因光波衍射影响光刻效果的程度。计算光刻是采用计算机模拟、仿真光刻工艺的光化学反应和物理过程,从理论上指导光刻工艺参数的优化。计算光刻通常包括光学邻近效应 修正(OPC)、光源-掩膜协同优化技术 (SMO)、多重图形技术(MPT)、 反演光刻技术(ILT)等四大技术。
格隆汇1月13日丨中船汉光(300847.SZ)在投资者互动平台表示,公司是国内既能大规模生产墨粉又能大规模生产OPC鼓的企业,是国内打印复印静电成像 ...
来自MSN10 个月
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