上述研究成果以“A MEMS traveling-wave micromotor-based miniature gyrocompass”为题发表于Microsystems & Nanoengineering期刊。 MEMS陀螺罗盘的结构设计 基于MEMS行波微电机（MTWMM）的陀螺罗盘的整体结构如图1a所示。该陀螺罗盘由MEMS行波微电机、旋转调制平台、MEMS电容式角位置传感 ...