文中详细讨论了柔性微机械超声换能器（MUT）的需求、潜在应用、规格、材料、制造和电子集成。具体来说，该综述涵盖了制造方法，并比较了柔性PMUT和CUMT的性能规格，包括谐振频率、灵敏度、柔韧性和其它相关因素。最后，对实现高效、高性能的柔性MUT所 ...